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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "indium".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化銦鎵鋅"


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    反應式濺鍍法之不同陶金靶材及氧氣流量對氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜的影響
    • 材料科學與工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 沈倢汝 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中,並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材,經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜,期望藉由…
    • 點閱:209下載:2

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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
    • 點閱:282下載:5

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    氧化銦鎵鋅與寬能隙材料複合結構之氫氣感測研究
    • 光電工程研究所 /112/ 碩士
    • 研究生: 唐瑞君 指導教授: 黃柏仁
    • 本研究以簡單與低成本的製程技術製備高效能的氫氣感測元件,內文將分為三個部分。第一部分探討氧化銦鎵鋅與超奈米鑽石之氫氣感測及物性分析,接著再探討氧化銦鎵鋅與超奈米鑽石(IGZO/N-UNCD)複合結構…
    • 點閱:408下載:0
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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